在精密零件加工的過程中，為了提高氣浮導(dǎo)軌的運(yùn)動性能，可以采用以下三種方法。首先提高了導(dǎo)軌在承載方向的剛度，導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)采用了封閉式導(dǎo)軌，相比單邊可以提高2倍的剛度。減小氣浮間隙；并加大密封力度，氣源需要恒壓供氣和清潔，以減少可能的振蕩因素。
在供氣回路中，應(yīng)設(shè)計(jì)負(fù)載補(bǔ)償機(jī)構(gòu)和自動調(diào)壓裝置，使氣浮間隙變化很小，由壓簧和滾輪控制氣浮間隙?；蛘吆侠聿贾脷鈮|，使其自動平衡調(diào)節(jié)。對于高精度測量機(jī)，氣浮精度應(yīng)在0.001-0.002毫米之間。
其次，在精密零件加工中，可以提高導(dǎo)軌運(yùn)動時的阻力。氣墊上的孔越多，阻尼力越大，剛性越大。如果用粉末冶金的多孔材料做氣墊，用大面積微孔代替小孔節(jié)流氣墊，阻尼力會更大。在精密機(jī)械零件加工允許的情況下，可以采用氣液兩相潤滑，由于導(dǎo)軌接觸面存在油膜，增加了阻尼力。
也可以采用半氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式。坐標(biāo)機(jī)是氣浮導(dǎo)軌和機(jī)械導(dǎo)軌的組合。利用兩種導(dǎo)軌的運(yùn)動特性，既提高了抵抗端部運(yùn)動的能力，又保持了氣浮導(dǎo)軌的間隙不變，增加了導(dǎo)軌運(yùn)動的阻尼力，從而提高了導(dǎo)軌的運(yùn)動性能。
通常精密零件加工時，機(jī)床不適合在骯臟、高溫、潮濕的環(huán)境下工作，對電網(wǎng)的供電環(huán)境也有較高的要求。機(jī)床的電源電壓不應(yīng)低于10%，三相應(yīng)平衡穩(wěn)定。糟糕的是，電網(wǎng)必須配備穩(wěn)壓電源。除了保持機(jī)器的清潔和正常潤滑外，機(jī)床的所有部件都必須仔細(xì)保養(yǎng)。
